美国mks G系列GE50A 质量流量控制器$nG 系列 GE50A 数控质量流量控制器可配备 RS485、Profibus™、EtherCAT、PROFINET® 或 DeviceNet™ I/O。数字控制电子设备利用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定点做出快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准在校准气体上产生1%的设定点精度。

美国mks GM50A和GM51A数控质量流量控制器 GM50A 和 GM51A 数控质量流量控制器提供模拟或 RS485、Profibus™、EtherCAT、PROFINET® 或 DeviceNet™ I/O。数字控制电子设备利用最新的MKS控制算法，在整个设备控制范围内对设定点做出快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准在校准气体上产生1%的设定点精度。

美国mks I系列 IP66 级质量流量控制器 I 系列热式质量流量控制器专为恶劣环境中的质量流量控制器应用而设计，可防水防尘。用于 I 系列质量流量控制器的 IP66 级外壳可保护其免受直接喷水以及多尘环境的影响。

美国mks P 系列高性能质量流量控制器 P系列高性能多气体、多量程、热质量流量控制器专为要求准确性、可重复性和压力不敏感性的最关键过程应用而设计。

美国mks C 系列紧凑型超快质量流量控制器 C 系列质量流量控制器 （MFC） 是紧凑、快速响应的型号，使用基于微机电系统 （MEMS） 的流量传感器，适用于非腐蚀性气体应用。它的满量程流速从 15 到 14，000 sccm （N2），控制范围从满量程的 0.1% 到 100% 满量程。提供模拟（0 至 5 VDC）、RS485、PROFINET® 和 Modbus 通信接口。